• 爱德华兹高级诊断服务

    FabWorks -IMS高级诊断服务(EADS)提供多参数算法,以预测真空泵和减排设备中与过程相关的问题的发生。这些服务可通过以下方式显著降低成本并提高生产率:yaboapp

    • 尽量减少报废晶圆批次和非计划刀具停机时间;
    • 最大化晶片生产量/产量;
    • 必要时通过维修设备降低总拥有成本(TCO)。

    模型:
    一系列工厂-IMSEADS型号有:

    • 干泵沉积
    • 助推器沉积
    • 消除燃烧室堵塞
    • 排气/存水弯堵塞
    • 涡轮系统污染(正在开发中)
    • 涡轮系统泄漏检测(正在开发中

    对于每个模型,通常有两个级别的三个警报。

    EADS警告表

  • 我们的历史

    当F.D.爱德华兹于1939年开始制造真空设备,yaboapp他致力于技术创新,这始终是我们今天工作的核心。

    进一步了解我们的历史