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    阿特拉斯·科普科奖表彰半导体制造用新型干式泵 5/15/2018
    今年,著名的约翰·芒克奖表彰了新型干式泵的发展。该泵用于半导体制造工艺,提高了使用寿命和可靠性。
    爱德华兹,通信