• yaboapp用于微电子器件制造商的真空泵系统,包括半导体

  • 爱德华兹提供了一系列独特的设备解决方案,支持服务和技术专长,以满足制造微电子器件的应用需求,包括硅和复合半导体。

  • 爱德华兹的领先技术


  • 半导体加工

    我们继续创新领先的技术解决方案,这将改善您的过程实时,产量、在努力通过减少环境排放和延长产品寿命与减少正在进行的服务成本来平衡经常冲突的较低拥有成本的要求的同时,吞吐量和安全遵守。

    服务所有领先的工艺工具OEM,并在世界上每个主要的半导体工厂,我们的系统是为了满足现有的特定需求和发展过程。各种系统,如干式真空泵,yaboapp涡轮分子泵和用途减少系统被提供以优化跨应用范围的性能,从轻型最重的任务流程。

  • 光刻
    化学气相沉积
    蚀刻
    物理蒸汽沉积
    计量
    离子注入
    扩散/外延/ALD
  • Edwards_Market_Matrix_Semi

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