• iXH干式真空泵yaboapp系统

    iXH系列干式泵产品是爱德华兹市场领先的iH产品的演进,并且为苛刻的工艺能力制定了新标准,通过在世界上许多300mm的半导体和平板制造厂中的工艺可靠性提供低成本的所有权。

    完美的大容量干式泵和增压器范围,可以满足不断增长的气体流量要求,在FPD遇到的,太阳能,半导体和LED制造业。这些泵不仅具有高峰值泵送速度,而且具有确保苛刻工艺最大可靠性的特征。

    采用模块化设计,iXH泵满足当今的工艺要求,并且具有针对前沿工厂中新出现的应用挑战的路线图。



    标准_主体_图像_IXH_干燥泵

  • 应用
    主要特点和效益
  • 我们的历史

    当F.D.爱德华兹于1939年开始制造真空设备,yaboapp他致力于技术创新,这仍然是我们今天工作的核心。

    更多地了解我们的历史