IPUX2:紧凑的,低能量,180万三/h.泵,用于晶片处理和其他清洁工作应用。它为负载锁紧室的快速泵降提供了低能耗。
IPUP2对于负载锁定和清洁的应用程序来说既小又轻。它的低振动和低噪音水平,使其理想的工具使用或在一个工厂的华夫饼地板,有助于节省宝贵的厂房空间,同时最大化泵送性能。绿色模式允许在闲置期间减少可重复性的使用,降低公用事业成本,保护环境。
在应用材料的工艺平台上使用,提高了生产能力,同时使用较少的能量。
- 三,000,百万周期MTBF
- 使用比原始IPUP™少70%的能量时快50%
- 预测IPUP™的下拉替换