iXL高性能干式真空泵yaboapp

IXL120：紧凑的，低能，110m3/h干式泵，用于晶片处理和其他清洁工作应用。它提供快速泵下负荷锁定室与极低的能耗。最小和最轻的泵之一，可用于负载锁定和清洁应用。它的低振动和低噪音水平，使其非常适合安装在工具上或工厂的华夫饼地板，有助于节省宝贵的工厂地板空间。绿色模式允许在空闲期间减少公用事业的使用，降低公用事业成本，保护环境。

• 级前室泵停机时间减少总平均循环时间（TACT）
• 只有0.55千瓦的电力消耗有助于最小化客户拥有成本
• 绿色模式可以在空闲期间将功耗降低高达92%。
• 高达35^oC供水有助于减少设备冷却水的需求
• 非常小和轻，帮助节省宝贵的工厂空间

IXL1000：一种用于轻型应用的低能量紧凑型干式泵。它提供快速腔室泵下降和极低的功率使用。最小和最安静的泵之一，可用于轻型应用，如晶片处理，PVD和计量学。建立在非常成功的iXL120泵上，它具有抽速高、能耗低的特点。绿色模式允许在闲置期间减少公用事业的使用，降低成本，保护环境。

• 级前室泵停机时间减少总平均循环时间（TACT）
• 只有0.55kW的功率消耗有助于最小化客户拥有成本
• 绿色模式可以在空闲期间将功耗降低高达92%。
• 多达35摄氏度的供水有助于降低设备冷却水的要求。
• 非常小和轻，帮助节省宝贵的工厂空间

IPUX2：紧凑的，低能量，180万^三/h.泵，用于晶片处理和其他清洁工作应用。它为负载锁紧室的快速泵降提供了低能耗。

IPUP2对于负载锁定和清洁的应用程序来说既小又轻。它的低振动和低噪音水平，使其理想的工具使用或在一个工厂的华夫饼地板，有助于节省宝贵的厂房空间，同时最大化泵送性能。绿色模式允许在闲置期间减少可重复性的使用，降低公用事业成本，保护环境。

在应用材料的工艺平台上使用，提高了生产能力，同时使用较少的能量。

• 三，000，百万周期MTBF
• 使用比原始IPUP™少70%的能量时快50%
• 预测IPUP™的下拉替换