• EPX真空___12503;

    EPXシリーズは、アッシュ/ストリップおよびインプラント エンド ステーション アプリケーションなど、クリーンで低負担の半導体処理アプリケーションをサポートします。

    EPXシリーズは非常に小型軽量なパッケージながら オンツール ポンプ機能を提供し、非常にクリーンな真空を実現します。特許取得済みの 独自の単一軸再生式Holweck®ステージ メカニズムを使用すれば、EPXポンプは 大気圧から7 x 10- 7Torr_到達圧力__排気_可能_。

    EPXポンプはモジュール式パッケージにおける高い性能を提供しており、 プロセス ツールに統合したり、離れた場所に取り付けたりすることが できます。また、統合型MicroTIMエレクトロニクスもプロセス ツールへの シンプルな通信接続を提供します。



    标准车身图像

  • 特技
    主な特長と利点
    ポンプシリーズ
  • 一种姿势

    1939年F.D.Edwardsがに真空装置の製造を開始したときに,彼が技術革新に捧げた情熱は,今日の私たちのものづくりの礎となっています。

    当社の歴史の詳細