• フラットパネルディスプレイ産業向け真空および局所排気装置

    フラットパネルディスプレイ(FPD)の製造プロセスでは,巨大な処理チャンバをサポートし,高いガス流量を最大限の信頼性で提供できる真空および除害装置が必要です。真空ポンプは,有毒性,自然発火性および腐食性ガスをポンプ排出し,製造プロセスチャンバで形成される大量のプロセス副生成物を処理するために必要です。当社顧客が当社をパートナーとして繰り返し選択していることは,当社の技術リーダーシップをはっきりと示しています。

    当社はFPDにおけるこれまでの経験により,顧客のプロセスに関する問題を解決して生産性を最適化するソリューションを開発できます。当社の広範囲なドライおよびターボ分子ポンプ(TMP)は最小限の電力,フットプリントおよび重量で,基板スループットと最終的なゼロ湿度処理条件を最大化するように設計されています。高いガス流量の管理と有毒性および可燃性ガスの効率的な除害を行うことができる当社の排気管理システムと組み合わせると,長い整備間隔と単一ツールに複数チャンバを接続できる可能性を持つ,完全に統合された真空および除害ソリューションが実現します。新しい革新的な設計が導入されたドライポンプ(iXH,iXLおよびiXMを含む)はチャンバごとに必要なプロセスポンプの数を削減しながらも,低い入力電力で高い生産スループットを提供し,アイドル期間のユーティリティを削減するグリーンモードを備えています。

    将来における高解像度,高インタラクティブ性,ウルトラスリムの柔軟なデバイスの必要性に対応することは,所有コストを削減してプロセスの稼働時間を改善するスマートなソリューションを開発するうえで課題となります。将来のディスプレイがどのようなものであっても,当社は課題に立ち向かい,ディスプレイ製造プロセスの重要なメーカーであり続けますのでご安心ください。

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