• iGX乾燥真空ポンプシステム

    iGXドライ真空ポンプは,オーバーホールの間の保守をまったく必要としない最先端ドライポンプの新標準を打ち立てました。これにより,世界でもっとも人気のあるドライポンプの1つとなっており,20000台を超える装置が最先端の300毫米工場で導入されています。iGXシリーズではMicroTIMツールインタフェースとイーサネット接続の両方が含まれており,主要なデータをWebページや包括的な一連のネットワークオプションで参照でき,継続的にポンプを使用できるようにします。

    iGXポンプには,さまざまなピーク排気速度のモデルがあるため,クリーンプロセスからミディアムデューティプロセスまで,幅広い用途に対応できます。モジュール式であるため,iGXドライポンプを個々の製造工場の要件に合わせて構成できます。取り付け面積が小さいため,オンツール,近接,遠隔など,さまざまな設置方法を選択できます。

    iGXドライポンプ技術を活用することで,一般的に工場全体のユーティリティコストを40% *節約できます(iL / iHドライポンプと比較)。

    *米国の300毫米工場に基づく.200台のツール,537台のポンプ(70%はiGXポンプ,30%はiHポンプ) 定流量給水バルブ装着状態でのiGX。


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  • 用途
    主な特長と利点
    ポンプシリーズ
  • 当社の歴史

    1939年F.D.Edwardsがに真空装置の製造を開始したときに,彼が技術革新に捧げた情熱は,今日の私たちのものづくりの礎となっています。

    当社の歴史の詳細

  • 製品資料

    iGX製品ラインの詳細……

    iGXドライポンプ製品パンフレット

  • FabWorks-iMS監視

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    爱德华兹では,真空および排気管理装置用の状態監視および分析システムであるFabWorks智能监控系统を提供しています。

    FabWorksの詳細

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