• IXH__真空____

    ドライ ポンプ製品のiXHファミリはEdwardsの市場をリードするiH製品を発展させたもので、過酷なプロセスにおける能力の新たな基準を打ち立てました。そのため、世界中にある多くの300mm半導体工場やラット パネル ディスプレイ製造工場におけるプロセスの信頼性__低所有__実現___。

    大容量のドライ ポンプとブースタの完全なシリーズは、 FPD、太陽電池、半導体、およびLEDの製造産業で直面する厳しいガス流量要件にも対応しています。 さらに、これらのポンプはピーク排気速度が高く、 過酷なプロセスでも高度な信頼性を発揮する機能を搭載しています。

    iXHポンプはモジュール型の設計で、 今日のプロセス要件に対応しており、最先端の工場における新たな用途の課題に対して 将来を見据えた対応が可能です。



    标准的车身-图像-干泵

  • 特技
    主な特長と利点
  • 一种姿势

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    当社_歴史詳細