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    EPX 시리즈는애싱(Ashing)/포토레지스트 제거 및 주입 엔드 스테이션 응용 분야 같은 무공해 및 저부하 반도체 공정 응용 분야를지원합니다.

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    F.D.Edwards가 1939년에 진공 장비의 제조를 처음 시작했을 때는 그는 기술 혁신에 노력할 것을 약속했으며 그 약속은 아직도 우리의 가슴 속에 굳건히 남아 있습니다.

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