• 领导제조를위한고부하진공펌프및에드워드제거솔루션

    다른조명기술에비해뛰어난장점을가진领导의수요가급증하고있습니다예를들어백열전구에비해领导는수명10배이나길고에너지소비량은1/4에불과합니다。조명으로서의가능성이무궁무진하지만领导제조업체들은크기축소,스위칭시간단축,출력향상등다양한공정요구에직면해있으며한편으로는제조비용절감이라는문제를안고있습니다。

    파장이짧은领导(녹색——파랑)에는질화물계열재료가사용되고파장이긴领导(빨강——노랑)에는인화물계열재료가사용됩니다。특별히유독성이거나다루기위험한재료가많이사용되므로각재료는진공펌프및제거선택에있어고유한공정문제를안고있습니다。

    반도체분야에서축적된다양한경험으로인해爱德华兹는식각,PECVD및" ICP칩생산등다양한실리콘웨이퍼처리기술을공정에적용하는과정에서제领导조업체를지원할수있는독보적위치에있습니다。爱德华兹의진공및제거제품은중요한전체공정에서탁월한안전성과효율성을발휘하여높은수소및암모니아유량을동시에처리할수있는능력이있습니다。

    领导제조공정에서는대개농도가흐린수소와부식성이심한암모니아가스가다량으로흐르고金属가사용되므로爱德华兹제품에통합된고급기술이이문제에맞게최적화되었습니다。爱德华兹iH,iXHiXL건식펌프제품은각각분말처리능력과부식성가스에대한저항력이향상되었으며제품이차지하는공간과무게가줄어들었습니다。또한STP磁悬浮터보분자펌프의최신제품군은고용량,고유량분야에맞게낮은전력으로가동되는소형”올인원”솔루션입니다。

    제거제품에는金属도구6개를까지연결할수있어GaN응용분야에서다량의가스를처리하도록설계되었으며수상실적으로그우수성이입증된Spectra-G3000이있습니다。사용편의성을위해Atlas™는砷化镓에서수소유량이많은분야에Alzeta™내부점화연소기기술을통합하여소유비용을크게낮추었다는점이드러났습니다。爱德华兹의모든제거시스템은제품을가동할경우환경에미치는영향을줄이고운영비용을절감합니다。

    领导제조기술의개발爱德华兹로와그제품은고객의성공에중요한역할을담당해왔습니다。爱德华兹의목표는다음세대를위해더깨끗하고밝은세상을만들수있도록고객에게진정한혜택을제공하는것입니다。爱德华兹의분야별전문가들은고객의요구에가장적합한제품에대해제领导조공정의모든단계에서여러분에게조언해드릴수있습니다。

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