• iH건식반도체진공펌프

    爱德华兹iH건식펌프는미립자,응축성또는부식성부산물이발생하는까다로운공정에필요한신뢰성이높고경제적인펌프를제공합니다。iH시리즈에는먼지처리성능을향상시키는한편배기소음을줄여주는근본설계에혁신적인외팔보로터와클로를갖춘5단기본펌프가있습니다。또한iH펌프에는1단메카니칼부스터펌프와일체형수냉식모터가장착되어있습니다。

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  • 응용분야
    기능및장점
    펌프범위
  • 爱德华兹역사

    是爱德华兹1939년가에진공장비의제조를처음시작했을때는그는기술혁신에노력할것을약속했으며그약속은아직도우리의가슴속에굳건히남아있습니다。

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  • 제품설명서

    iH제품라인에대해자세히알아보기…

    iH건식펌프제품브로슈어

  • FabWorks-iMS모니터링

    Standard_Callout_Image_Fabworks

    爱德华兹는진공및배기부관리장비를위한완벽한상태모니터링및분석시스템인FabWorks智能监控系统을제공합니다。

    FabWorks에대해자세히알아보기

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