爱德华兹HT和EO扩散泵提供任何可比尺寸的泵中最高的吞吐量(压力乘以泵速),使它们成为涉及大量气体的工业过程的理想选择。这些扩散泵可用于具有高临界背压和特征挡板的工艺,以确保背流最小化。

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高通量扩散泵

爱德华兹HT和EO扩散泵提供任何可比尺寸的泵中最高的吞吐量(压力乘以泵速),使它们成为涉及大量气体的工业过程的理想选择。这些扩散泵可用于具有高临界背压和特征挡板的工艺,以确保背流最小化。