• EPX 180及各系列的真空泵浦,可用於半導體設_

    EPX系列有助于不劳而获,例如灰化/去光阻植物站等。

    EPX系列以“度度小体型”的成套设备,提供平台上呼吸气功能,Lewith格格格格格格格格格格格格外清的真空效果..EPX泵用埃普泵用埃普特特且27054獲23560利的埃普再生式Holweck®泵級27083;,具有大气力排放至托托限限限制排放至Holweweweck®泵級27083;,具有大气力排放至托托限26997限制限制。力量的力量。

    EPX泵能整合在钻台上或安装在钻台上,可透过模组套件提供增加的性能。整合式microtim装置也可通过钻台提供方便的通讯。



    标准车身图像

  • 應用方式
    主要功能
    泵浦種類
  • 於我們

    F.D.Edwards於1939年开始制造真空族時,方便力量於科技新,而今天的我們也仍然持有显著的這個核心理念。

    进一步了解了我的历史