• 领导製造專用的爱德华兹真空機及解決方案

    领导需求量激增是因為相較於其他的照明技術,领导有非常大的優勢。例如相較於白熾燈泡,领导提供多10倍的壽命,而且只消耗不到四分之一的能源。照明的發展潛力無窮,因為使用更小的體積,更快的切換速度和提升的輸出能力,领导製造商面臨的挑戰是要滿足高製程要求但又要降低製造成本。

    波長較短的领导(綠光——藍光)使用以亞硝酸鹽為基底的材料,而波長較長者(紅光——黃光)使用的是以磷酸鹽為基底的材料。每種材料在真空泵浦和廢氣處理選擇上都會面臨各自專屬的製程挑戰,因為很多所使用的材料都具有特殊毒性或是處理上具危險性。

    我們在半導體領域所取得的豐富經驗,讓我們在支援领导製造商上處於一個獨特的地位,協助他們將更多的矽晶圓處理技術(例如蝕刻,PECVD及ICP "晶片生產)導入製程中。我們的真空和廢氣處理產品有能力在整個重要的製程當中同時處理高流速的氫氣與氨氣,並提供高等級的安全與效能。

    领导製造過程通常使用金属,搭配高流速的輕氫氣與高腐蝕性的氨氣,我們產品系列所搭配的先進技術已經過最佳化,可以應付這些挑戰。我們的iH,iXHiXL乾式泵浦系列,每一項都可提供更強的粉塵處理能力,且能高度抵抗腐蝕性氣體,但是體積較小,重量也較為輕巧。最新的STP磁悬浮渦輪分子真空泵浦系列為具有低功耗的“全方位“精簡解決方案,適合大量,與高流量的應用。

    廢氣處理產品包括了我們獲獎的Spectra-G 3000,其主要是在氮化鎵(GaN)應用中處理高氣體流量,最多可連接六種金属工具。在使用的簡便性方面,已證實Atlas™在砷化鎵(砷化镓)應用上搭配高流量的氫氣,再配合Alzeta™的向內點火燃燒技術,可以顯著地降低擁有成本。我們所有的廢氣處理系統都可降低您在作業過程中對環境的影響,同時也可降低操作成本。

    在發展领导製造技術的同時,爱德华兹也同時在成長,我們是主要的推手,而且我們的產品在客戶的成功上扮演重要的角色。我們的目標是要提供真正的效益給我們的客戶,並從而為將來的世代提供更乾淨更有希望的世界。我們的應用專家可以為您在领导製造過程的所有階段提供建議,針對您的需求選擇最適合的產品。

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