• 100年IGX乾式泵浦真空系統

    iGX乾式真空泵浦系列為現代乾式泵浦豎立了新的標準,在檢修之間無須維護;這已經讓它成為世界上最受歡迎的乾式泵浦之一,已有超過2萬部安裝在最先進的300毫米半導體晶圓廠中。iGX應用範圍包括MicroTIM工具銜接及乙太網路連接,讓主要資料能透過網頁檢視,也提供完整的網路選項,以確保泵浦的持續供貨。

    iGX泵浦提供各種不同的最大速度及系列機型,可滿足從清洗到中型製程等應用。模組設計讓使用者可以按照各個晶圓廠的需求設定iGX乾式泵浦。體積小巧,提供不同的安裝選項,包括安裝於工具上,近距離安裝或遠端作業等。

    一般來說,利用iGX乾式泵浦技術,可讓整座晶圓廠節省40% *的運作成本(與iL / iH乾式泵浦相比)。

    *根據一座包含200項工具,537個泵浦(70% iGX泵浦,30% ih泵浦, iGX配置了定流水閥)的美國300毫米晶圓廠


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  • 應用方式
    主要功能與優點
    泵浦種類
  • 關於我們

    F.D.Edwards 於 1939 年開始製造真空設備時,便致力於科技創新,而現今的我們也仍秉持著這個核心理念。

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