• iXH無油真空幫浦系統

    iXH系列的乾式泵浦產品屬於爱德华兹市場領先的iH產品進化版,為嚴苛製程能力樹立了新的標準。其透過製程的可靠性,為世界上眾多300毫米半導體與平板晶圓廠降低擁有成本。

    大量抽氣型乾式泵浦與輔助泵浦的種類相當齊全,可滿足辅导太陽能,半導體及领导製造業日益上升的氣體流量需求。這些泵浦不僅能產生最大抽氣速度,還配備了各項功能,必定能為嚴苛的製程帶來最大的可靠度。

    透過模組設計,iXH泵浦符合現今的製程需求,並在面臨尖端晶圓廠的應用挑戰時,做出明確縝密的回應。



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  • 應用方式
    主要功能與優點
  • 關於我們

    F.D.Edwards於1939年开始制造真空族時,方便力量於科技新,而今天的我們也仍然持有显著的這個核心理念。

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