• 世界级解决方案-爱德华兹泵及消减系统


  • 我们最需要的产品

    • ._Rotator_Atlas_Abatement 阿特拉斯消除
      提供半导体的燃烧气体减排解决方案,平板显示器,太阳能和MOCVD制造商降低了运营成本,提高了易用性。
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    • ._Rotator_EPX_. EPX干泵
      支持清洁和轻型半导体加工应用,如灰/带和植入终端站应用。
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    • ._Rotator_IPUP2 IPUP2干式泵
      契约,低能,180m3/h干式泵,用于晶片处理和其他清洁工作场合。快速泵下负荷锁定室,能耗低。
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    • ._Rotator_iXL120 iXL干式泵
      涵盖了平板显示器(FPD)和太阳能制造市场部门所遇到的所有降压要求。
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    • ._Rotator_CXS_泵 CXS干式泵
      提供高可靠性和无污水泵送;即使在最困难的苛刻的化学药品加工应用。
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    • 积_转子_γ_离子 伽玛超高压泵
      在各种应用中创建高真空和超高yaboapp真空(UHV)环境,从便携式质谱仪到大规模粒子加速器。
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    • ._Rotator_GXS_泵 GXS型干泵
      独特的螺杆技术和领先的高效驱动;实现先进的温度控制和较长的服务间隔;确保一流的泵送速度和低的运行成本。
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    • ._Rotator_IXH_泵 IXH干泵
      高峰值泵速;具有确保苛刻工艺最大可靠性的特性。满足FPD中遇到的不断增加的气体流量要求,太阳能半导体和LED制造业。
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    • ._Rotator_nEXT_. nEXT涡轮泵
      为科学涡轮泵设定新的基准。提供最佳的涡轮泵性能,可靠性和最终用户服务性。
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    • ._Rotator_nXDS_. nXDS涡旋泵
      优异的泵送能力,最终的真空性能和先yaboapp进的设计特点;性能最好的泵。
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    • 乘积-转子-频谱-衰减 谱G消减
      具有成本效益,用于制造氮化物MOCVD的高性能排气处理溶液。
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    • ._Rotator_STP_. 涡轮泵
      多轴磁轴承系统,用于在运行过程中悬挂转子,确保没有污染的风险,同时使振动最小化,噪声和维护要求。高峰时间的第一选择,无烃泵送。
      找出更多
    • ._Rotator_iGX IX干泵
      可在广泛的峰值速度和变型来解决从清洁到中等负荷过程的应用程序。
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    • 积_转子_EZENITH 天顶石
      先进的系统组合,为您所有的半导体工艺应用提供完全集成的真空和排气管理解决方案。yaboapp
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    • ._Rotator_iH1000 iH干式泵
      高度可靠,用于颗粒较难处理的低成本泵,存在可冷凝或腐蚀性的副产品。
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    • ._Rotator_ES_. ES泵
      最大化你的工作效率和性能。单级油封旋转叶片泵的重大进展。
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      高峰值泵速;具有确保苛刻工艺最大可靠性的特性。满足FPD中遇到的不断增加的气体流量要求,太阳能半导体和LED制造业。
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      高度可靠,用于颗粒较难处理的低成本泵,存在可冷凝或腐蚀性的副产品。
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      最大化你的工作效率和性能。单级油封旋转叶片泵的重大进展。
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